一、三氯氢硅氢制备高纯硅的化学方程式
你的问题有问题！三氯氢硅氢是什么东西啊？
二、三氯氢硅的实验原理
三氯氢硅生产方法
硅氢氯化法
该方法是用冶金级硅粉，作原料，与氯化氢气体反应。可使用铜或铁基催化剂。反应在200---800和0。05---3mpa下进行
2si+hcl======hsicl3+sicl4+3h2
该反应所用反应器经历了从固定床、搅拌床到流化床的发展过程。工艺也从间歇发展到连续。反应器由碳钢制成，预先将归粒子加入到反应器，加热到所需地温度后，从底部连续通入氯化氢气体，产物及未反应物料被连续输出，经除尘精制后，用于生产高纯多晶硅和高纯硅烷。
上述反应是放热反应，反应热为-141。8千焦/摩尔 升高温度有利于提高反应速率，但同时导致三氯氢硅选择性下降，通过优化反映温度，可明显提高三氯氢硅的选择率。例如在300---425度和2到5千帕条件下使硅和氯化氢反应，产物以600---1000千克/小时输出，三氯氢硅的选择率竟高达80—88%，副产物包括质量分数1%--2%二氯硅烷和1—4%的缩聚物，其余为四氯化硅。
氯化氢气体中的水分三氯氢硅的收率优很大影响。，因此必须严格干燥。硅与氯化氢生成三氯氢硅的反应应该是零级反应，使用纯度大于99。99%的硅原料时氢硅的收率较低。在一个 微型反应器中作了研究，结果表明冶金级原料中所含杂质铝对反应有催化作用，可使反应温度降低，三氯氢硅收率提高。，
四氯化硅氢化法
3sicl4+2h2+si===============4hsicl3
反应温度400-----800
压力2---4兆帕
该反应为平衡反应，为提高三氯氢硅的收率，优选在氯化氢存在下进行，原料采用冶金级产产品通过预活化除去表面的氧化物后，可进一步提高三氯氢硅的收率
三氯氢硅与四氯化硅沸点差距25度，且不产生共沸物，所以比较容易分离
一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法，其主要流程如下： a）将镍触媒与硅粉以质量比1－10％的比例均匀混合后置于活化器中，活化条件为h↓〔2〕流速≥0．05－0．3m／s，经不同时间阶段由25℃至终温420℃的升温条件下完成活化过程； b）四氯化硅（sicl↓〔4〕）液相温度在贮罐中保持60－119℃，气相总压为1．5mpa，出口的h↓〔2〕与sicl↓〔4〕混合气的摩尔比为1－10； c）氢化反应器内，h↓〔2〕与sicl↓〔4〕的混合气通过触媒与硅粉混合料层，保持温度400－500℃、压力1．2－1．5mpa； d）氢化反应器的出口混合气体经收尘器进行除尘、过滤后，在冷凝器中氯硅烷呈液态被分离出来，不凝的h↓〔2〕气返回贮罐中循环利用； e）液态氯硅烷经分馏塔分馏后，重组份sicl↓〔4〕返回贮罐重复利用。
三、工业上用“三氯氢硅还原法”制备纯硅的工业流程如图： （1）石英砂的主要成分是 （填化学式）.
（1） （1分）还原剂（1分）
（2）蒸馏，（2分） （2分）
（3）hcl和 （2分）
（4）①浓硫酸，（1分）使进入烧瓶的液态 变为气体。（1分）②让 排尽装置中的空气；（2分） （2分）
