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一种三氯氢硅合成尾气回收方法专利

发布时间:2024-01-29 4:05:40

  1. 生产三氯氢硅的主要原料是什么
  2. 有谁知道三氯氢硅的生产简图?
  3. 采用改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法生产多晶硅中最危险的工种是哪个环节?谢谢!

一、生产三氯氢硅的主要原料是什么

也叫硅氯仿、硅仿、三氯硅烷。

制法:

(1)在高温下si和hcl反应。

(2)用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。

二、有谁知道三氯氢硅的生产简图?

三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后经隔膜压缩机加压,再用-35℃冷媒冷凝为液体。不凝性气体通过液封罐进入尾气淋洗塔,经酸碱淋洗达标后排放。

三氯氢硅分离。三氯氢硅和四氯化硅混合料(三氯氢硅含量为80—85%)进入加压塔,采用两塔连续提纯分离,通过控制一定的回流比,最终得到三氯氢硅含量为99%以上的产品和四氯化硅含量为95%以上的副产物。

含尘废气主要是输送硅粉的氮气,先经布袋除尘回收硅粉,然后经水洗涤,洗涤废水经沉淀后循环使用,尾气洗涤后排入大气。布袋除尘器除尘率为99%,洗涤除尘率按50%计,总除尘效率达到99.5%,经处理后达标排放。不凝气体主要含有保护气体,其余还含有少量的氯硅烷、氯化氢等。

经过低温冷凝后剩余的不凝气送废气处理装置,氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸和氯化氢,氯化氢气体先被稀盐酸循环吸收为浓盐酸回收使用,微量部分被碱液吸收、反应。废气主要成份有氮气,废气经淋洗处理后,通过车间排气筒达标排放。在满足要求的前提下尽量选用转速低、噪声小的设备;同时对鼓风机设独立的隔声间,与所在的楼层分开,以减轻振动而产生的噪声;对空压机、鼓风机、泵等进气管装消音器,并设隔声操作室,减少室内噪声污染,改善工人作业环境。

烟筒设置足够的高度,使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。

三、采用改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法生产多晶硅中最危险的工种是哪个环节?谢谢!

改良西门子主要有三氯氢硅合成—精馏—还原—尾气回收工序。相对来说,合成与尾气回收工序危险一些,主要问题是有气体外泄燃烧爆炸的问题。