一、二氯二氢硅的安全防护
可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时，应把二氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。
有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。
当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。灭火时，如果用水，则产生大量氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。
废气可用水或苛性钾等碱液吸收，可以用相应的吸附剂吸附，也可以在严格控制下燃烧。
二、氢气、二氯二氢硅、四氯化硅、三氯化硅的危险排顺序？
四氯化硅 > 二氯二氢硅 > 三氯化硅 > 氢气。
四氯化硅是一种强酸性、强腐蚀性的化学品，具有强烈的刺激性和毒性，对皮肤、眼睛、呼吸道等有严重的损伤作用，同时也易于吸入到肺部引发化学肺炎等疾病。
二氯二氢硅也是一种有毒的化学品，对人体的呼吸系统、眼睛和皮肤都有强烈的刺激和腐蚀作用，同时也对环境造成严重污染。
三氯化硅对人体的影响相对较小，但也有一定的毒性和刺激性，对皮肤和呼吸系统有一定的损害作用。
氢气是一种易燃易爆的气体，对人体的影响相对较小，但如果与氧气混合，则会形成可燃气体，引起爆炸。
